一種可以不破壞樣品用X射線激發(fā)樣品而產(chǎn)生X射線熒光的分析方法。可對(duì)原子序數(shù)大于8的元素進(jìn)行定性和定量分析。當(dāng)高速電子激發(fā)原子內(nèi)層電子,被逐出的內(nèi)層電子空穴由較外層電子填充,電子從較高能態(tài)的外層躍遷到較低能態(tài)的內(nèi)層時(shí),釋放能量,導(dǎo)致X射線的產(chǎn)生。這種X射線是初級(jí)X射線。如果以初級(jí)X射線作為激發(fā)手段,用來(lái)照射樣品物質(zhì),那么這種物質(zhì)立即會(huì)發(fā)出次級(jí)射線。這種由于X射線照射物質(zhì)而產(chǎn)生的次級(jí)X射線稱為X射線熒光。X射線熒光產(chǎn)生于原子內(nèi)層電子的躍遷,它們是代表元素特征的譜線。根據(jù)X射線熒光的波長(zhǎng)(或光子能量)可進(jìn)行定性分析。根據(jù)X射線熒光的強(qiáng)度可進(jìn)行定量分析。
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